財団の歴史
| 1988年 4月 | 財団設立、基本財産3億円、
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| 1990年 2月 | 荒田 俊雄（日本精工（株）取締社長） 理事長就任 |
| 1990年 9月 | 事務所を東京都千代田区丸の内から東京都品川区大崎に移転 |
| 1991年 3月 | 佐田 登志夫理事（東京大学名誉教授、理科学研究所副理事長） 審査委員長就任 |
| 1991年 3月 | 日本精工株式会社 2億円寄付 基本財産 5億円に |
| 1991年 6月 | エヌエスケー・ワーナー株式会社 1億円寄付 基本財産 6億円に |
| 1991年 12月 | エヌエスケー・トリントン株式会社 5千万円寄付 基本財産 6.5億円に |
| 1992年 6月 | エヌエスケー・トリントン株式会社 5千万円寄付 基本財産 7億円に |
| 1999年 3月 | 土屋 喜一理事（早稲田大学教授） 審査委員長就任 |
| 2002年 7月 | 関谷 哲夫（日本精工（株）取締役会長） 理事長就任 |
| 2007年 3月 | 染谷理事（東京大学名誉教授） 審査委員長就任 |
| 2009年 7月 | 朝香聖一（日本精工（株）取締役会長） 理事長就任 |
| 2010年 11月 | 公益認定により公益財団法人ＮＳＫメカトロニクス技術高度化財団と改称し移行 |
| 2012年 4月 | 高等専門学校におけるメカトロニクス技術教育への助成事業の開始 |
| 2017年 3月 | 下河邉明理事（東京工業大学名誉教授）審査委員長就任 |
| 2021年 3月 | 北條春夫理事（東京工業大学名誉教授）審査委員長就任 |
| 2023年 2月 | 内山俊弘（日本精工（株）取締役会長） 理事長就任 |
